等離子凈化器只是工業凈化器中的一種，等離子凈化器原理是：低溫等離子凈化器在進行工作的時候，在外加電場的作用下，介質放電會產生出大量的攜能電子轟擊污染物分子，讓污染物分子電離、解離和激發，之后引發出一系列較為復雜的物理、化學反應，這時大分子污染物就會轉變成小分子安全物質，同時也會使有毒有害的物質成為 無毒無害的或者是低毒低害的物質，終使得污染物能夠被降解清除。
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞包括：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
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