采用特殊的高能、高臭氧紫外光束照射廢氣，使有機或無機聚合物異味化合物分子鏈，在高能紫外光照射下，與臭氧發生反應，如CO2、H2O。投資成本低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行穩定，占地少，運行成本低，無二次污染。
在工業生產過程中，排放的有機尾氣通過引風機進入設備的旋轉閥，通過選轉閥將進口氣體和出口氣體*分開。氣體首先通過陶瓷材料填充層（底層）預熱后發生熱量的儲備和熱交換，其溫度幾乎達到催化層（中層）進行催化氧化所設定的溫度，這時其中部分污染物氧化分解；廢氣繼續通過加熱區（上層，可采用電加熱方式或天然氣加熱方式）升溫，并維持在設定溫度；其再進入催化層完成催化氧化反應，即反應生成CO2和H2O，并釋放大量的熱量，以達到預期的處理效果。
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